Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
,特集 MEMS製品開発を支える精密工学,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2010-05,76,5,491-517,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832646891264,