著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 関屋 慎 and 木藤良 善久,ターボ分子ポンプの排気特性に関する研究-1-有限翼高翼列の排気特性〔含 討論〕,日本機械学会論文集. B編,03875016,東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010,1990-05,56,525,p1400-1407,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832787705856,