著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 マイクロ機構の測定・評価技術,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,1997-03,63,3,317-352,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832805875328,