著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
田中 武 and 川畑 敬志,高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリング法による Ta/ITO構造のX線光電子分光法による評価,広島工業大学研究紀要,03851672,広島 : 広島工業大学,1999-02,,33,11-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832926883840,