Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
佐々木 明,次世代半導体リソグラフィの実用化に至るEUV光源のプラズマ研究開発のあゆみ,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,2020-06,96,6,283-289,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832939241344,