著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 三浦 創史 and 中澤 日出樹 and 西崎 圭太,有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2009-08,109,171,13-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832956873600,