ガラス基板上のレーザ活性化トップゲート水素化微結晶シリコンTFT

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タイトル別名
  • ガラス キバン ジョウ ノ レーザ カッセイカ トップゲート スイソカ ビケッショウ シリコン TFT
  • Laser-activated top-gate μc-Si:H TFTs
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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