Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) ,特集:プロセスクリーン化と新プロセス技術,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2002-10-29,102,416,1-42,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832997673856,