著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
プラズマイオン注入調査専門委員会,プラズマイオン注入法とその応用,電気学会技術報告,09199195,東京 : 電気学会,2001-10,,860,1-59,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833221458048,