著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鈴木 順也 and 岩見 健太郎 and 梅田 倫弘,サファイアの反応性イオンエッチングにおけるマスク材が表面粗さに与える影響,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2014-10,31,,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833334182016,