著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山本 燎 and 加納 寛人 and 中村 篤志 and 居波 渉,原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査,映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report,13426893,東京 : 映像情報メディア学会,2020-01,44,1,9-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833441657344,