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武山 真弓 and 糸井 貴臣 and 青柳 英二,Cu/SiコンタクトにおけるZrNバリヤの構造がバリヤ特性に及ぼす影響,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2001-10-26,101,395,79-84,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833482642688,