著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
榎本 心平,プラズマCVD(Os)によるSEM試料用コーティング条件の検討,技報,,東京 : 早稲田大学理工学術院統合事務・技術センター技術部,2003,,31,9-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833483453696,