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大島 穣 and 牧野 雄一郎 and 片桐 裕則,第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2008-10,108,269,19-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833609477376,