著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 福江 紘幸 and 中谷 達行 and 岡野 忠之 and 黒岩 雅英,大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるパルス放電条件の最適化,岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology,13494155,岡山 : 岡山理科大学技術科学研究所,2018,,36,1-9,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833664761344,