著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 荷電ビームを応用する加工と計測,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2001-09,67,9,1387-1425,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833689284096,