著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 増田 淳 and 梅本 宏信 and 松村 英樹,Cat-CVD技術の現状と将来展望:気相診断からデバイス応用まで,"電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C",13452827,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ,2004-02,87,2,203-215,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833690600320,