著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
斧 高一 and 高橋 和生 and 江利口 浩二,4.高誘電率(High-k)材料のドライエッチング(<小特集>ドライエッチングの科学と技術の新局面),プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,2009-04,85,4,185-192,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833788624640,