著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 岡本 稔 and 清水 守 and 大倉 康幸,モンテカルロ法によるSiCへの3次元不純物イオン注入計算,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2014-11,114,291,13-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833802062848,