著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 雄二 and 高橋 良和 and 坪井 望,対向ターゲット式反応性スパッタ法による CuAlO2薄膜の作製と評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2002-11-13,102,434,17-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833829398144,