著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大久保 昭,直接加熱方式CVD合成装置,共通施設技術研究報告,09113398,仙台 : 東北大学金属材料研究所,1989-03,,13,p15-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833844161920,