著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 産業科学技術プロジェクト--マイクロマシン技術の成果,"電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines",13418939,東京 : 電気学会,2002-02,122,2,53-102,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833934246272,