著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
嵯峨 幸一郎 and 国安 仁 and 服部 毅,高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2003-10-21,103,374,15-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853833969994496,