著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
篠原 正典 and 藤山 寛,プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,2007-12,83,12,935-941,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834025883264,