著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山田 周史 and 加勢 彩乃 and 寒川 雅之,デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2013-11,30,,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834373937152,