著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
涌井 伸二,半導体製造装置における空気圧サーボ技術,フルードパワーシステム = Journal of the Japan Fluid Power System Society : 日本フルードパワーシステム学会誌,13467719,東京 : 日本フルードパワーシステム学会,2018-11,49,6,277-280,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834671042176,