著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) Akihito Matsumuro and Makoto Takagi,Control of residual stress in thin films by substrate vibration and their mechanical property,愛知工業大学総合技術研究所研究報告,13449672,豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所,2014-09,,16,71-75,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834688868096,