著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐藤 運海 and 市川 浩一郎,希薄NaCl電解還元水を用いたシリコンウエハの精密研磨,精密工学会誌論文集,13488724,東京 : 精密工学会,2006-10,72,10,1247-1252,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834761354368,