著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Toshio Seki and Takaaki Aoki and Jiro Matsuo,Etching Characteristics with Ar-Cl₂ Gas Mixed Cluster Ion Beam,"兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo",,姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室,2010,,,273-277,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834768506240,