著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
茶谷原 昭義 and 杢野 由明 and 坪内 信輝,単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術,Synthesiology = 構成学,18826229,[つくば] : 産業技術総合研究所,2010-11,3,4,272-280,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834799379072,