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八重樫 英民 and 西村 栄一 and 長谷部 一秀,招待講演 ダブルパターニング技術の開発と応用,半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology,,東京 : 電気化学会電子材料委員会,2010-07,41,,45-48,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853834985768576,