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阪上 天斗 and 高橋 利昌 and 崔 容俊 and 澤田 和明 and 高橋 一浩,光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出,電気学会研究会資料. MSS,,東京 : 電気学会,2021-08-06,2021,48-54,15-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835161904640,