著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
望月 康則,GaAsのドライエッチング損傷の微細構造評価,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1997-03,66,3,242-246,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835171845504,