著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
須黒 恭一,極微細低抵抗ゲート電極配線技術,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1999-11,68,11,1258-1262,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835182320896,