Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
堀池 靖浩 and 柴山 利一 and 高柳 智士,Recent Topics : Generation of Fluorine and Chlorine Negative Ions and Etching Reaction with Si and SiO_2,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,1996-11,72,11,1168-1174,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835183732992,