著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
田中 浩 and 井上 和之 and 阿部 吉次,KOH水溶液によるSi{110}エッチング特性への微量Cuの影響,"電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines",13418939,東京 : 電気学会,1998-05,118,5,272-277,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835203186048,