著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松村 正清,次世代Si薄膜デバイスを目指した超巨大結晶粒形成法,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2000-04-13,100,3,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835205340928,