著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
目黒 多加志 and 岩井 荘八 and 青柳 克信,原子層制御エピタキシャル成長技術,"電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers",09135693,東京 : 電子情報通信学会,1992-12,75,12,p1326-1330,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835206553728,