著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 池田 朋広 and 山本 節夫 and 平田 京,ECRスパッタ法によるCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスクの作製--マイクロ波電力による物性制御,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2000-01-20,99,572,1-8,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835219005184,