著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐野 慶一郎 and 玉巻 宏章 and 野村 雅也,TEOS/O2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO2薄膜の低温形成 第1報,自動車技術会論文集 = Transactions of the Society of Automotive Engineers of Japan,02878321,東京 : 自動車技術会,1996-10,27,4,127-132,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835236729984,