著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 井手 幸夫 and 中村 崇 and 河崎 義幸,TiNおよびTi-Al-N系膜の酸化機構,東北大学素材工学研究所彙報,09194827,仙台 : 東北大学素材工学研究所,1998-12,54,1・2,28-39,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835260398976,