著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 桑原 秀行,プラズマ窒化における励起種の役割,まてりあ = Materia Japan,13402625,仙台 : 日本金属学会 ; 1994-,1999-02,38,2,115-120,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835265225216,