著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 次世代半導体製造環境に向けて,エアロゾル研究,09122834,東京 : 日本エアロゾル学会,1999-03,14,1,10-39,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835272147712,