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後田 澄夫 and 梶田 省吾 and 近藤 芳孝,"NF3-希ガス,NF3-22混合ガス中における電子スオーム〔英文〕","豊田工業高等専門学校研究紀要 = Journal of National Institute of Technology, Toyota College",02862603,豊田 : 豊田工業高等専門学校,1987,,20,p35-42,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835338112384,