著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
入江 和隆 and 石橋 幸子 and 西村 忠士,反応性スパッタリング法による酸化物薄膜の作製,"久留米工業高等専門学校紀要 = Memoirs of National Institute of Technology, Kurume College",09118705,久留米 : 久留米工業高等専門学校,1997-03,12,2,33-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853835354332800,