著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
叶 際平,次世代ULSIの微細化と多層配線技術開発に求められるいくつかの最新SPM分析手法の紹介,Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌,09102175,東京 : 大成社,2001-07,38,7,40-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854803502654080,