著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
蟹谷 清,第7～9世代に対応したガラス基板搬送ロボット,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2006-07,45,7,22-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854804782027136,