Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
三谷 隆一郎,CMP終点検出モニタ用渦電流式センサとその応用,エバラ時報 = Ebara engineering review,03853004,東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部,2012-01,,234,3-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854804822443520,