著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 江刺 正喜,光MEMSの変遷と最新の展開--可動ミラーアレイ、光スキャナ、光スイッチ,光アライアンス,0917026X,東京 : 日本工業出版,2010-09,21,9,46-48,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854804834870528,