著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 半導体・FPD製造工程におけるクリーン化技術,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2004-08,43,8,17-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520854805013408512,